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紫外臭氧清洗機(jī)

簡(jiǎn)要描述:一、產(chǎn)品介紹紫外臭氧清洗機(jī)(UVO),是一種簡(jiǎn)單,經(jīng)濟(jì),快速高效的材料表面清洗設(shè)備,能快速去除大多數(shù)無(wú)機(jī)基材(比如石英,硅片,金,鎳,鋁,砷化鎵,氧化鋁等)上的有機(jī)污染物

基礎(chǔ)信息

產(chǎn)品型號(hào)

廠商性質(zhì)

代理商

更新時(shí)間

2024-10-22

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詳細(xì)介紹

一、產(chǎn)品介紹

紫外臭氧清洗機(jī)(UVO),是一種簡(jiǎn)單,經(jīng)濟(jì),快速高效的材料表面清洗設(shè)備,能快速去除大多數(shù)無(wú)機(jī)基材(比如石英,硅片,金,鎳,鋁,砷化鎵,氧化鋁等)上的有機(jī)污染物。

CIF紫外臭氧清洗機(jī)采用長(zhǎng)壽命UV石英低壓汞蒸汽格柵燈,樣品臺(tái)高度可調(diào)并可選加熱控溫,以便達(dá)到清洗效果。

二、產(chǎn)品特點(diǎn)

u UVO基礎(chǔ)型采用可編程數(shù)字控制器,設(shè)置操作簡(jiǎn)單方便,四鍵操作控制。UVOP和UVOT系列采用5寸彩色觸摸屏設(shè)置顯示計(jì)時(shí)時(shí)間及加熱溫度。

u 自動(dòng)補(bǔ)償功能,自動(dòng)恒定光強(qiáng)光密度,不會(huì)因?yàn)榈蛪汗療衾匣鈴?qiáng)衰減影響清洗效果。

u 數(shù)字倒計(jì)時(shí)顯示清洗時(shí)間,1-999分鐘之間可自行設(shè)置清洗時(shí)間。

u 任何時(shí)間可以手動(dòng)中斷處理過(guò)程。

u 自動(dòng)記錄之前清洗參數(shù)設(shè)置。

u 樣品臺(tái)可控溫(可選),控溫范圍RT-220℃,控溫精度0.1℃。

u 頂置下壓式鉸鏈開(kāi)關(guān)蓋方式,操作簡(jiǎn)單方便。

u 上置式樣品臺(tái)設(shè)計(jì),360度自由放置樣品,操作方便。

u 樣品臺(tái)高度可調(diào),通過(guò)調(diào)節(jié)燈與樣品之間的間距,可以合理定位樣品高度和位置,并可鎖定。

u UV石英低壓汞蒸汽格柵燈,燈管壽命大約為8000小時(shí)。

u 高強(qiáng)度UV燈源,波長(zhǎng)185nm和254nm。

u 可累計(jì)計(jì)時(shí)UV格柵燈使用時(shí)長(zhǎng),更換提示。

u UV反射罩(長(zhǎng)X寬)比UV格柵燈大2.5cm,比如規(guī)格為13x13cm格柵燈反射罩尺寸大于15×15cm。

u 雙重安全保護(hù),帶有安全鎖,當(dāng)清洗腔打開(kāi)時(shí),系統(tǒng)自動(dòng)關(guān)掉UV燈,并有燈光通斷提示。

u 帶進(jìn)&出氣口雙氣路設(shè)計(jì)。

u 可接入氧氣或者臭氧,增加臭氧產(chǎn)量。

u UVO5可選外置臭氧中和器,UVO9、UVO12系列可選外置或者內(nèi)置臭氧中和器,用于臭氧清除。

u 可根據(jù)客戶要求定制鋁或石英材料真空反應(yīng)腔。

三、技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品型號(hào)

UV燈尺寸cm

樣品臺(tái)高度cm

主機(jī)重量kg

外型尺寸(LxWxH)cm

UVO5/UVO5P/UVO5T

13x13

5cm內(nèi)可調(diào)

6

31x26x20

UVO9/UVO9P/UVO9T

23x23

5cm內(nèi)可調(diào)

12.5

60x50x20

UVO13/UVO13P/UVO13T

33x33

5cm內(nèi)可調(diào)

18.5

70x60x20

注:UVO型基礎(chǔ)型樣品臺(tái)不帶加熱功能,樣品臺(tái)高度可調(diào);UVOP可選配樣品臺(tái)加熱功能,樣品臺(tái)高度可調(diào);UVOT標(biāo)配樣品臺(tái)加熱功能,樣品臺(tái)高度可調(diào)


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